Effect of various buffer layers for the large-scale atomic layer deposition integration of archetypical SrTiO3 thin film on silicon substrate
Bruno Berini, Razvan Burcea, Maxime Vallet, Arnaud Fouchet et autres
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Bruno Berini, Razvan Burcea, Maxime Vallet, Arnaud Fouchet et autres
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A. D. Robinson, Sadiya Sadiya, Sandeep Kumar, Francesc Penas-Hidalgo et autres
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Chiara Mello, Damien Coutancier, Mathieu Fregnaux, Jessica Barrichello et autres
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Javid Hajhemati, Nitin Mallik, Vincent Dufoulon, Mathieu Frégnaux et autres
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Hanna E. Solt, Marina Maddaloni, Philippe Bazin, Damien Aureau et autres
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Mohamed Mellah, François Ozanam, Damien Aureau, Diana Dragoé et autres
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Alexandre Py, Ange Bernardin Chambissie Kameni, Paul-Alexis Pavard, Nathanaëlle Schneider et autres
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Nitin Mallik, Javid Hajhemati, Vincent Dufoulon, Damien Coutancier et autres
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Larbi Touahir, P. Allongue, Damien Aureau, Rabah Boukherroub et autres
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Christian Njel, Hugues A. Girard, Mathieu Frégnaux, Damien Aureau et autres
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David Alamarguy, Damien Aureau, Thierry Conard, Nicolas Gauthier et autres
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Mathieu Frégnaux, Yoan Bourlier, Bruno Bérini, Y. Dumont et autres
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