Enhancement on productivity and sustainability with the world’s first 6 kHz KrF light source G65K
Rattachement africain : jp. Niveau de preuve : code pays fourni par la source.
Le résumé fourni par la source
Semiconductor manufacturers today are facing increasing social pressure to enhance sustainability while needing to simultaneously boost productivity. Gigaphoton has addressed these demands by developing G65K, the world’s first 6 kHz KrF light source. Thanks to the integration of proven GT laser technologies, G65K can deliver up to 90 W output, more than twice compared to existing 40 W KrF lasers, while also lowering the frequency of gas refills. These features bring improved throughput and availability to lithography tools. Additionally, G65K contributes to sustainability through various measures, including Hg-free wavelength calibration, reduced gas consumption, and lower electricity usage.
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Le contrôle bibliographique ouvert
DOI retrouvé dans Crossref DOI retrouvé ; titre concordant.
- Titre Crossref
- Enhancement on productivity and sustainability with the world’s first 6 kHz KrF light source G65K
- Date Crossref
- 22/04/2025
- Éditeur
- SPIE
- Type
- proceedings-article
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Les institutions déclarées
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