1999 article

A novel low-temperature (Ba,Sr)TiO3 (BST) process with barrier for Gbit DRAM applications

G. Beitel, H. Wendt, Elke Fritsch, Volker Weinrich, Manfred Engelhardt, Barbara Hasler, T. Röhr, Robert Bergmann, U. Scheler, K.-H. Malek, N. Nagel, Alexander Gschwandtner, Werner Pamler, Wolfgang Hönlein, Christine Dehm, Carlos Mazure

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Titre Crossref: A novel low-temperature (Ba,Sr)TiO3 (BST) process with barrier for Gbit DRAM applications
Date Crossref: 01/09/1999
Éditeur: Elsevier BV
Type: journal-article

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