Ultra-shallow EUV and soft X-ray gratings fabricated by broad-beam nitrogen ion irradiation
Johannes Kaufmann, Thomas Siefke, Uwe D. Zeitner
0 citationsarXiv (Cornell University)
Johannes Kaufmann
Informations fournies par OpenAlex. Research Africa ne déduit ni nationalité, ni poste, ni coordonnées personnelles.
2Publications signalées
0Citations signalées
1Affiliations récentes
Institutions déclarées
Domaines associés
Atomic and Molecular PhysicsAdvanced X-ray Imaging TechniquesX-ray Spectroscopy and Fluorescence Analysis
Publications récentes
Ultra-shallow EUV and soft X-ray gratings fabricated by broad-beam nitrogen ion irradiation
Johannes Kaufmann, Thomas Siefke, Uwe D. Zeitner
0 citationsarXiv (Cornell University)
BNTIC News n’est pas le producteur de ces données. Recherche à la demande dans Crossref et Europe PMC, sans clé ; OpenAlex reste optionnel. Aucun service payant requis, aucune réponse conservée. Sources et limites.