PFAS free chemically amplified resists enabled by low activation energy hydrocarbon cage monomers
Rattachement africain : au. Niveau de preuve : code pays fourni par la source.
Le résumé fourni par la source
Larger cage hydrocarbon induced hyperconjugation lowers the energy barrier for resist deprotection ( i.e. , solubility switching), eliminating the need for PFAS-containing PAGs for photoresist design.
Ce résumé expose les affirmations des auteurs. BNTIC ne l’interprète pas comme une validation indépendante des résultats.
Le contrôle bibliographique ouvert
DOI retrouvé dans Crossref DOI retrouvé ; titre concordant.
- Titre Crossref
- PFAS free chemically amplified resists enabled by low activation energy hydrocarbon cage monomers
- Date Crossref
- 01/01/2026
- Éditeur
- Royal Society of Chemistry (RSC)
- Type
- journal-article
Ce recoupement confirme des métadonnées liées au DOI. Il ne confirme ni la méthode ni les conclusions de l’étude, et il ne compte pas comme une seconde source scientifique indépendante.
Où se fait cette recherche
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The University of Queensland Centre for Microscopy and Microanalysis pays non établi dans la noticeUniversité ou école supérieure
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Australian Research Council pays non établi dans la noticeOrganisme public
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School of Chemistry and Molecular Biosciences pays non établi dans la noticeUniversité ou école supérieure
Centre for Microscopy and Microanalysis — The University of Queensland, Australian Research Council et School of Chemistry and Molecular Biosciences.
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