UV-enhanced SEM: towards orientation and electron work function imaging
Rattachement africain : jp, au, cz. Niveau de preuve : code pays fourni par la source.
Le résumé fourni par la source
Deep-UV ~ 250 nm (4.96 eV) tilted in-situ co-illumination of the sample under imaging by scanning electron microscope (SEM) is developed at a robust and practical instrument level. Precise mechanical control of the lateral position and tilt angle (within 6.5$^\circ$ from a 42$^\circ$ baseline) of the UV-C LED source is achieved using mechanisms external to the vacuum chamber. The incorporated linear polariser (for s-pol. mode illumination) with external polarisation plane adjustment allows for modulation and tuning of tangential $E^{(t)}$ and normal $E^{(n)}$ electric field components and their enhancement for controlled directional electron emission from the surface of the sample. Numerical modelling of E-field enhancement corroborates the expected enhancement in the production of secondary electrons. This modality of SEM imaging does not require metal coatings, preserving sample integrity for subsequent analysis. The feasibility of having linearly polarised incident UV-C light with azimuthal orientation control in $(s,p)$-plane is modeled and discussed.
Ce résumé expose les affirmations des auteurs. BNTIC ne l’interprète pas comme une validation indépendante des résultats.
Le contrôle bibliographique ouvert
Où se fait cette recherche
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Shizuoka University ) Research Institute of Electronics pays non établi dans la noticeUniversité ou école supérieure
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Swinburne University of Technology pays non établi dans la noticeUniversité ou école supérieure
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Extreme Light Infrastructure Beamlines pays non établi dans la noticeStructure de recherche
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Extreme Light Infrastructure ERIC (Czech Republic) pays non établi dans la noticeEntreprise
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Tokyo Institute of Technology pays non établi dans la noticeUniversité ou école supérieure
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School of Science ) Optical Sciences Centre pays non établi dans la noticeUniversité ou école supérieure
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) Extreme Light Infrastructure (ERIC) pays non établi dans la noticeInstitution
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) Faculty of Engineering pays non établi dans la noticeUniversité ou école supérieure
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School of Materials and Chemical Technology pays non établi dans la noticeUniversité ou école supérieure
) Research Institute of Electronics — Shizuoka University, Swinburne University of Technology et Extreme Light Infrastructure Beamlines, avec 6 autres affiliations.
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