2025 conference-paper

Ultra-High-κ Hf0.5Zr0.5O2 Capacitors Assisted by Interfacial Layer Engineering

Qiang Gao, Danyang Chen, Lu Wang, Zhiyu Lin, Mengwei Si, Dongdong Li, Xiuyan Li

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Titre Crossref
Ultra-High-κ Hf<sub>0.5</sub>Zr<sub>0.5</sub>O<sub>2</sub> Capacitors Assisted by Interfacial Layer Engineering
Date Crossref
18/09/2025
Éditeur
The Japan Society of Applied Physics
Type
proceedings-article

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