2025 conference-paper

Oxygen vacancy mobility and charge de-trapping in 6 nm HZO-based ferroelectric capacitors as a function of annealing temperature

Lucía Pérez Ramírez, Gunjan Yadav, Nicholas T. Barrett, J. Coignus, Nicolas Vaxelaire, L. Grenouillet, Andrea Locatelli, Tevfik Onur Menteş

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Titre Crossref
Oxygen vacancy mobility and charge de-trapping in 6 nm HZO-based ferroelectric capacitors as a function of annealing temperature
Date Crossref
17/09/2025
Éditeur
The Japan Society of Applied Physics
Type
proceedings-article

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