2025 conference-paper

MP16/18 Integration in Ru Semi-Damascene using SiN-Based Core for Spacer-is-Dielectric SADP

Gilles Delie, Stefan Decoster, Chen Wu, Vincent Renaud, Giulio Marti, Souvik Kundu, Yannick Hermans, Fulya Ulu Okudur, Bart Kenens, Nancy Heylen, Gayle Murdoch, Seongho Park, Zsolt Tökei

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Titre Crossref: MP16/18 Integration in Ru Semi-Damascene using SiN-Based Core for Spacer-is-Dielectric SADP
Date Crossref: 02/06/2025
Éditeur: IEEE
Type: proceedings-article

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