Fiber-optic Fabry Perot pressure sensor for shock wave measurements based on silicon MEMS
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Le résumé fourni par la source
本文提出了一种基于微机电系统(MEMS)的光纤法布里-珀罗压力传感器，可用于冲击波等瞬态压力测量。该传感器敏感单元由深反应离子刻蚀(DRIE)后的单晶硅和BF33玻璃晶圆通过阳极键合制成，并通过激光熔接技术实现光纤与敏感单元的无胶化集成。通过搭建信号解调实验平台，对静态和动态压力环境下的传感器性能进行测试。实验结果表明，该传感器在0~10 MPa压力范围内具有良好的线性响应，满量程非线性误差为0.41%，迟滞为0.37%，传感器的上升时间为8.5 μs。该传感器具备抗电磁干扰、可批量化制备、一致性高、成本低等优点，理论谐振频率为1.39 MHz，展示了其在爆炸场等恶劣环境下进行动态压力测量的良好应用前景。
Ce résumé expose les affirmations des auteurs. BNTIC ne l’interprète pas comme une validation indépendante des résultats.
Le contrôle bibliographique ouvert
DOI retrouvé dans Crossref DOI retrouvé ; titre concordant.
- Titre Crossref
- Fiber-optic Fabry Perot pressure sensor for shock wave measurements based on silicon MEMS
- Date Crossref
- 01/01/2025
- Éditeur
- Changchun Institute of Optics, Fine Mechanics and Physics, Chinese Academy of Sciences
- Type
- journal-article
Ce recoupement confirme des métadonnées liées au DOI. Il ne confirme ni la méthode ni les conclusions de l’étude, et il ne compte pas comme une seconde source scientifique indépendante.
Les sujets associés
Advanced Fiber Optic SensorsGeophysics and Sensor TechnologyAdvanced MEMS and NEMS Technologies