Direct Monitoring of Generated Particles in Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition Process Using Temperature Compensating Quartz Crystal Microbalance
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Le contrôle bibliographique ouvert
DOI retrouvé dans Crossref DOI retrouvé ; titre concordant.
- Titre Crossref
- Direct Monitoring of Generated Particles in Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition Process Using Temperature Compensating Quartz Crystal Microbalance
- Date Crossref
- 01/01/2024
- Éditeur
- Elsevier BV
- Type
- posted-content
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Où se fait cette recherche
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Daegu Gyeongbuk Institute of Science and Technology pays non établi dans la noticeUniversité ou école supérieure
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Seoul National University of Science and Technology pays non établi dans la noticeUniversité ou école supérieure
Daegu Gyeongbuk Institute of Science and Technology et Seoul National University of Science and Technology.
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