PECVD and PEALD on polymer substrates (part II): Understanding and tuning of barrier and membrane properties of thin films
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Abstract This feature article presents insights concerning the correlation of plasma‐enhanced chemical vapor deposition and plasma‐enhanced atomic layer deposition thin film structures with their barrier or membrane properties. While in principle similar precursor gases and processes can be applied, the adjustment of deposition parameters for different polymer substrates can lead to either an effective diffusion barrier or selective permeabilities. In both cases, the understanding of the film growth and the analysis of the pore size distribution and the pore surface chemistry is of utmost importance for the understanding of the related transport properties of small molecules. In this regard, the article presents both concepts of thin film engineering and analytical as well as theoretical approaches leading to a comprehensive description of the state of the art in this field. Perspectives of future relevant research in this area, exploiting the presented correlation of film structure and molecular transport properties, are presented.
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Le contrôle bibliographique ouvert
DOI retrouvé dans Crossref DOI retrouvé ; titre concordant.
- Titre Crossref
- PECVD and PEALD on polymer substrates (part II): Understanding and tuning of barrier and membrane properties of thin films
- Date Crossref
- 27/11/2023
- Éditeur
- Wiley
- Type
- journal-article
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Où se fait cette recherche
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Paderborn University pays non établi dans la noticeUniversité ou école supérieure
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Ruhr University Bochum pays non établi dans la noticeUniversité ou école supérieure
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University Hospitals of the Ruhr-University of Bochum pays non établi dans la noticeÉtablissement de santé
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Fraunhofer Institute for Microelectronic Circuits and Systems pays non établi dans la noticeStructure de recherche
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RWTH Aachen University pays non établi dans la noticeUniversité ou école supérieure
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DWI – Leibniz Institute for Interactive Materials pays non établi dans la noticeStructure de recherche
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Hochschule für Angewandte Wissenschaften Kiel pays non établi dans la noticeUniversité ou école supérieure
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Christian-Albrechts-Universität zu Kiel pays non établi dans la noticeUniversité ou école supérieure
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Fraunhofer IMS Duisburg Germany pays non établi dans la noticeInstitution
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DWI—Leibniz‐Institute for Interactive Materials Aachen Germany pays non établi dans la noticeStructure de recherche
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Theoretical Electrical Engineering Kiel University Kiel Germany pays non établi dans la noticeUniversité ou école supérieure
Paderborn University, Ruhr University Bochum et University Hospitals of the Ruhr-University of Bochum, avec 8 autres affiliations.
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