Suppression of Surface Roughening during Ion Bombardment of Semiconductors
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Le résumé fourni par la source
Ion beams are used routinely for processing of semiconductors, particularly sputtering, ion implantation, and direct-write fabrication of nanostructures. However, the utility of ion beam techniques is limited by crystal damage and surface roughening. Damage can be reduced or eliminated by performing irradiation at elevated temperatures. However, under these conditions, surface roughening is highly problematic due to thermal mobility of adatoms and surface vacancies. Here, we solve this problem using hydrogen gas, which we use to stabilize surface mass flow and suppress roughening during ion bombardment of elemental and compound semiconductors. We achieve smooth surfaces during ion beam processing and show that the method can be enhanced by radicalizing H 2 gas using a remote plasma source. Our approach is broadly applicable and expands the utility of ion beam techniques for the processing and fabrication of functional materials and nanostructures.
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Le contrôle bibliographique ouvert
DOI retrouvé dans Crossref DOI retrouvé ; titre concordant.
- Titre Crossref
- Suppression of Surface Roughening during Ion Bombardment of Semiconductors
- Date Crossref
- 29/09/2022
- Éditeur
- American Chemical Society (ACS)
- Type
- journal-article
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Où se fait cette recherche
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University of Technology Sydney ARC Centre of Excellence for Transformative Meta-Optical Systems pays non établi dans la noticeUniversité ou école supérieure
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ARC Centre of Excellence for Transformative Meta-Optical Systems pays non établi dans la noticeStructure de recherche
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School of Mathematical and Physical Sciences pays non établi dans la noticeUniversité ou école supérieure
ARC Centre of Excellence for Transformative Meta-Optical Systems — University of Technology Sydney, ARC Centre of Excellence for Transformative Meta-Optical Systems et School of Mathematical and Physical Sciences.
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