Interface and layer periodicity effects on the thermal conductivity of copper-based nanomultilayers with tungsten, tantalum, and tantalum nitride diffusion barriers
Rattachement africain : ch, us. Niveau de preuve : code pays fourni par la source.
Le résumé fourni par la source
Nanomultilayers are complex architectures of materials stacked in sequence with layer thicknesses in the nanometer range. Their application in microelectronics is challenged by their thermal stability, conductivity, and interface reactivity, which can compromise their performance and usability. By using different materials as thermal barriers and by changing their thickness, it is possible to manipulate interfacial effects on thermal transport. In this work, we report on the thermal conductivity of Cu/W, Cu/Ta, and Cu/TaN sputter deposited nanomultilayers with different thicknesses. The resistive interfacial effects are rationalized and discussed also in relation to the structural transformation into a nano-composite upon high-temperature annealing.
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Le contrôle bibliographique ouvert
DOI retrouvé dans Crossref DOI retrouvé ; titre concordant.
- Titre Crossref
- Interface and layer periodicity effects on the thermal conductivity of copper-based nanomultilayers with tungsten, tantalum, and tantalum nitride diffusion barriers
- Date Crossref
- 19/11/2020
- Éditeur
- AIP Publishing
- Type
- journal-article
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Où se fait cette recherche
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Swiss Federal Laboratories for Materials Science and Technology pays non établi dans la noticeStructure de recherche
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University of Virginia Department of Mechanical and Aerospace Engineering pays non établi dans la noticeUniversité ou école supérieure
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Intel (United States) pays non établi dans la noticeEntreprise
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Empa pays non établi dans la noticeInstitution
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Logic Technology Development pays non établi dans la noticeInstitution
Swiss Federal Laboratories for Materials Science and Technology, Department of Mechanical and Aerospace Engineering — University of Virginia et Intel (United States), avec 2 autres affiliations.
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