Influence of generation control of the magnetron plasma on structure and properties of copper nitride layers
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DOI retrouvé dans Crossref DOI retrouvé ; titre concordant.
- Titre Crossref
- Influence of generation control of the magnetron plasma on structure and properties of copper nitride layers
- Date Crossref
- 01/01/2020
- Éditeur
- Elsevier BV
- Type
- journal-article
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Où se fait cette recherche
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National Centre for Nuclear Research pays non établi dans la noticeOrganisme public
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Bydgoszcz University of Science and Technology pays non établi dans la noticeUniversité ou école supérieure
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Institute of Mathematics pays non établi dans la noticeStructure de recherche
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AGH University of Krakow pays non établi dans la noticeUniversité ou école supérieure
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Warsaw University of Technology pays non établi dans la noticeUniversité ou école supérieure
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UTP University of Science and Technology Institute of Mathematics and Physics pays non établi dans la noticeUniversité ou école supérieure
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Faculty of Materials Science and Engineering pays non établi dans la noticeUniversité ou école supérieure
National Centre for Nuclear Research, Bydgoszcz University of Science and Technology et Institute of Mathematics, avec 4 autres affiliations.
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