A Self-Limited Atomic Layer Deposition of WS2 Based on the Chemisorption and Reduction of Bis(t-butylimino)bis(dimethylamino) Complexes
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Le résumé fourni par la source
A novel self-terminating chemical approach for the deposition of WS 2 by atomic layer deposition based on chemisorption of bis( t -butylimino)bis(dimethylamino)tungsten(VI) followed by sulfurization by H 2 S is reported. A broad spectrum of reaction parameters including temperatures of the reaction chamber and the precursor and durations of every atomic layer deposition (ALD) step are investigated and optimized to reach a high growth per cycle of 1.7 Å and a high quality of the deposited thin films. The self-terminating behavior of this reaction is determined by the variation of the dose of the precursors. Surface- and bulk-sensitive techniques prove that highly pure and well-defined WS 2 layers can be synthesized by ALD. Imaging methods show that WS 2 grows as platelets with a thickness of 6–10 nm and diameter of 30 nm, which do not vary dramatically with the number of ALD cycles. A low deposition temperature process followed by a postannealing under H 2 S is also investigated to produce a conformal WS 2 film. Finally, a reaction mechanism could be proposed by studying the chemisorption of bis( t -butylimino)bis(dimethylamino)tungsten(VI) onto silica and the thermal and chemical reactivities of chemisorbed species by small-molecule analyses.
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- Titre Crossref
- A Self-Limited Atomic Layer Deposition of WS<sub>2</sub> Based on the Chemisorption and Reduction of Bis(<i>t</i>-butylimino)bis(dimethylamino) Complexes
- Date Crossref
- 26/02/2019
- Éditeur
- American Chemical Society (ACS)
- Type
- journal-article
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Où se fait cette recherche
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Humboldt-Universität zu Berlin pays non établi dans la noticeUniversité ou école supérieure
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Lyon 1 Université pays non établi dans la noticeUniversité ou école supérieure
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Centre National de la Recherche Scientifique pays non établi dans la noticeOrganisme public
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Institut de Chimie de Lyon pays non établi dans la noticeStructure de recherche
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École d'Ingénieurs en Chimie et Sciences du Numérique pays non établi dans la noticeUniversité ou école supérieure
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Institut für Chemie and IRIS Adlershof pays non établi dans la noticeStructure de recherche
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Institut für Physik and IRIS Adlershof pays non établi dans la noticeStructure de recherche
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Université de Lyon pays non établi dans la noticeUniversité ou école supérieure
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