Micromachined Lateral Force Sensors for Characterization of Microscale Surface Forces During Chemical Mechanical Polishing
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Le contrôle bibliographique ouvert
DOI retrouvé dans Crossref DOI retrouvé ; titre concordant.
- Titre Crossref
- Micromachined Lateral Force Sensors for Characterization of Microscale Surface Forces During Chemical Mechanical Polishing
- Date Crossref
- 01/01/2008
- Éditeur
- Springer Science and Business Media LLC
- Type
- journal-article
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Où se fait cette recherche
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Tufts University pays non établi dans la noticeUniversité ou école supérieure
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Intel (United States) pays non établi dans la noticeEntreprise
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Cabot Microelectronics (United States) pays non établi dans la noticeEntreprise
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Intel Corporation pays non établi dans la noticeInstitution
Tufts University, Intel (United States) et Cabot Microelectronics (United States), avec 1 autre affiliation.
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