Development of high coherence high power 193nm laser
Rattachement africain : jp. Niveau de preuve : code pays fourni par la source.
Le résumé fourni par la source
We have been developing a hybrid 193 nm ArF laser system that consists of a solid state seeding laser and an ArF excimer laser amplifier for power-boosting. The solid state laser consists of an Yb-fiber-solid hybrid laser system and an Er-fiber laser system as fundamentals, and one LBO and three CLBO crystals for frequency conversion. In an ArF power amplifier, the seed laser passes through the ArF gain media three times, and an average power of 110 W is obtained. As a demonstration of the potential applications of the laser, an interference exposure test is performed.
Ce résumé expose les affirmations des auteurs. BNTIC ne l’interprète pas comme une validation indépendante des résultats.
Le contrôle bibliographique ouvert
DOI retrouvé dans Crossref DOI retrouvé ; titre concordant.
- Titre Crossref
- Development of high coherence high power 193nm laser
- Date Crossref
- 16/03/2016
- Éditeur
- SPIE
- Type
- proceedings-article
Ce recoupement confirme des métadonnées liées au DOI. Il ne confirme ni la méthode ni les conclusions de l’étude, et il ne compte pas comme une seconde source scientifique indépendante.
Les institutions déclarées
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