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Institution scientifique

Tokyo Ohka Kogyo (Japan)

Kawasaki, JP, company

883Publications signalées
16605Citations signalées
12Thèmes principaux

Les principaux domaines

Advancements in Photolithography TechniquesNanofabrication and Lithography TechniquesIntegrated Circuits and Semiconductor Failure AnalysisElectron and X-Ray Spectroscopy Techniques3D IC and TSV technologiesAdvanced Surface Polishing TechniquesBlock Copolymer Self-AssemblyCopper Interconnects and ReliabilityAdvanced Polymer Synthesis and CharacterizationSemiconductor materials and devicesElectronic Packaging and Soldering TechnologiesSynthesis and properties of polymers

L’évolution annuelle

1986 12
1987 12
1990 13
1991 13
1994 12
1996 14
1999 15
2002 18
2003 19
2004 38
2005 45
2006 38
2007 29
2008 24
2009 29
2010 32
2011 19
2012 17
2013 23
2014 18
2016 38
2017 15
2018 20
2019 18
2020 21
2021 17
2022 13
2024 35
2025 45
2026 23

Les publications récentes

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