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西原弘晃

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Advanced X-ray Imaging TechniquesX-ray Spectroscopy and Fluorescence AnalysisCrystallography and Radiation Phenomena

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Accès ouvert 2019 conference-paper OpenAlex

Mo-overcoated grating-based beam intensity monitor for 13.9 nm X-ray laser

孝志今園, 西原弘晃, 浮田龍一, 笹井浩行 et autres

波長13.9 nmのＸ線レーザー（XRL）で使用する回折格子ビーム強度モニタの高効率化のために、モリブデン薄膜を金コート回折格子に積層した。放射光を用いた回折効率測定によってMoコーティングによる高効率化を確認した。また、XRLで測定した0次と１次の回折光強度間に強い相関を認めた。ビーム強度モニタの実用性はMo回折格子から供給されたXRLビームを用いた軟Ｘ線エリプソメトリによって実証された。

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