最高エッチング速度でのけい素における高アスペクト比構造の制御された微細加工:酸性電解液中のけい素の陽極溶解におけるH_2O_2の役割【Powered by NICT】
Cozzi Chiara, Polito Giovanni, W Kolasinski Kurt, Giuseppe Barillaro
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Advanced Functional Materials
Cozzi Chiara
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Bulletin of the American Physical Society
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