Design and Mechanical Analysis of a MEMS Resonant Wide-Range Vacuum Gauge Integrated with PZT-5H Bulk Piezoelectric Ceramic
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- Titre Crossref
- Design and Mechanical Analysis of a MEMS Resonant Wide-Range Vacuum Gauge Integrated with PZT-5H Bulk Piezoelectric Ceramic
- Date Crossref
- 01/06/2026
- Éditeur
- IEEE
- Type
- proceedings-article
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