2025 conference-paper

α-Ga2O3 導波路作製に向けたPECVD 成膜 a-C:H 膜のAr プラズマエッチンク耐性評価

航大 飯嶋, Kota Taniguchi, 秀夫 大槻, Hideo Ohtsuki, 莉衣奈 神野, 遠西美重, Mie Tohnishi, Akihiro Matsutani, 泰友 太田, 敏 岩本

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