Integrated COMSOL–machine-learning–SHAP Framework for thermal-field optimization and interface stability analysis in Czochralski silicon growth
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Contrôle bibliographique ouvert
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- Titre Crossref
- Integrated COMSOL–machine-learning–SHAP Framework for thermal-field optimization and interface stability analysis in Czochralski silicon growth
- Date Crossref
- 03/09/2026
- Éditeur
- Springer Science and Business Media LLC
- Type
- journal-article
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Sujets associés
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