Statistical investigation of micropipe propagation in 4H-SiC epitaxy on 8-inch wafers
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- Titre Crossref
- Statistical investigation of micropipe propagation in 4H-SiC epitaxy on 8-inch wafers
- Date Crossref
- 01/11/2026
- Éditeur
- Elsevier BV
- Type
- journal-article
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