Bias Stability Optimization Technique for Silicon Micro-resonant Accelerometer Based on Interval Temperature Compensation and Data Fusion
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摘要： 针对硅微谐振式加速度计零偏稳定性受温度变化影响显著的问题，提出一种基于区间温度补偿与数据融合的零偏稳定性优化技术。通过建立双DETF温度响应仿真模型，揭示温度响应导致零位偏移机理。创新性地提出一种区间温度补偿算法，采用滑动窗口实时拟合温度系数，通过动态加权补偿消除双DETF间温度响应差异。结合基于卡尔曼滤波原理的数据融合技术抑制残余噪声，形成协同优化机制。最后，基于Zynq 7020平台搭建测控样机，并使用温度响应显著的无应力隔离框架硅微谐振式加速度计进行技术验证。在-40～60 ℃循环变温工况下的全温测试中，区间温度补偿与数据融合协同技术使零偏稳定性提升95.19%，充分证明了该协同技术的零偏稳定性优化能力以及复杂温度环境下较好的温度适应性。同时，零偏稳定性相较单一使用温度补偿时提升62.88%，较单一使用数据融合时提升99.9%，优于单一补偿或融合策略，为MEMS加速度计在复杂温度变化下的零偏稳定性优化提供了新思路。
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Le contrôle bibliographique ouvert
DOI retrouvé dans Crossref DOI retrouvé ; titre concordant.
- Titre Crossref
- Bias Stability Optimization Technique for Silicon Micro-resonant Accelerometer Based on Interval Temperature Compensation and Data Fusion
- Date Crossref
- 01/01/2026
- Éditeur
- Chinese Journal of Mechanical Engineering
- Type
- journal-article
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Où se fait cette recherche
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China Academy of Engineering Physics pays non établi dans la noticeStructure de recherche
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University of Electronic Science and Technology of China pays non établi dans la noticeUniversité ou école supérieure
China Academy of Engineering Physics et University of Electronic Science and Technology of China.
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