Scalar transport characteristics of purging plane jet above a moving wall in a simplified scenario of lithography machine
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Le contrôle bibliographique ouvert
DOI retrouvé dans Crossref DOI retrouvé ; titre concordant.
- Titre Crossref
- Scalar transport characteristics of purging plane jet above a moving wall in a simplified scenario of lithography machine 光刻机简化运动场景下运动壁面上方平面清洁射流的标量输运特征
- Date Crossref
- 13/07/2026
- Éditeur
- Springer Science and Business Media LLC
- Type
- journal-article
Ce recoupement confirme des métadonnées liées au DOI. Il ne confirme ni la méthode ni les conclusions de l’étude, et il ne compte pas comme une seconde source scientifique indépendante.
Les institutions déclarées
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