Research on optical proximity correction with embedded coordinate convolution module (Erratum)
Rattachement africain : cn. Niveau de preuve : code pays fourni par la source.
Le résumé fourni par la source
This paper, originally published on 10 December 2024, was replaced with a corrected/revised version on 18 June 2026. Co-corresponding author Yuandong Gu was added. If you downloaded the original PDF but are unable to access the revision, please contact SPIE Digital Library Customer Service for assistance. Download the erratum for additional details.
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Le contrôle bibliographique ouvert
DOI retrouvé dans Crossref DOI retrouvé ; titre concordant.
- Titre Crossref
- Research on optical proximity correction with embedded coordinate convolution module (Erratum)
- Date Crossref
- 18/06/2026
- Éditeur
- SPIE
- Type
- proceedings-article
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Où se fait cette recherche
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Shanghai University pays non établi dans la noticeUniversité ou école supérieure
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Shanghai Industrial Technology Institute pays non établi dans la noticeStructure de recherche
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Shanghai Univ. (China) pays non établi dans la noticeInstitution
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Ltd. (China) Shanghai Melon Technology Co. pays non établi dans la noticeEntreprise
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Shanghai Industrial µTechnology Research Institute (China) pays non établi dans la noticeStructure de recherche
Shanghai University, Shanghai Industrial Technology Institute et Shanghai Univ. (China), avec 2 autres affiliations.
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