Self-organized nano-scaled pillar/ripple structures formation on GaAs and Si by using plasma irradiation
Rattachement africain : jp. Niveau de preuve : code pays fourni par la source.
Le résumé fourni par la source
This study investigates the formation of self-organized nanoscale structures, specifically pillars and ripples, on Gallium Arsenide (GaAs) and Silicon (Si) surfaces using low-energy Argon (Ar) plasma irradiation with minimal lattice damage. Experimental results show that spiral-like pillars form in the central region due to impurity deposition, while uniform ripples with a stable periodicity of 25–40 nm develop at the edges. Unlike traditional ion-beam methods, the ripple periodicity remains constant over time. The formation mechanism is attributed to a “shadow effect” causing non-uniform impurity deposition. This technique provides a high-efficiency, low-cost solution for large-scale semiconductor surface nanostructuring.
Ce résumé expose les affirmations des auteurs. BNTIC ne l’interprète pas comme une validation indépendante des résultats.
Le contrôle bibliographique ouvert
DOI retrouvé dans Crossref DOI retrouvé ; titre concordant.
- Titre Crossref
- Self-organized nano-scaled pillar/ripple structures formation on GaAs and Si by using plasma irradiation
- Date Crossref
- 01/08/2026
- Éditeur
- Elsevier BV
- Type
- journal-article
Ce recoupement confirme des métadonnées liées au DOI. Il ne confirme ni la méthode ni les conclusions de l’étude, et il ne compte pas comme une seconde source scientifique indépendante.
Où se fait cette recherche
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The University of Tokyo pays non établi dans la noticeUniversité ou école supérieure
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National Institute for Fusion Science pays non établi dans la noticeStructure de recherche
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Nagoya University Hospital Institute of Materials and Systems for Sustainability pays non établi dans la noticeÉtablissement de santé
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Nagoya University pays non établi dans la noticeUniversité ou école supérieure
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Graduate school of Frontier Sciences pays non établi dans la noticeUniversité ou école supérieure
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Graduate School of Engineering pays non établi dans la noticeUniversité ou école supérieure
The University of Tokyo, National Institute for Fusion Science et Institute of Materials and Systems for Sustainability — Nagoya University Hospital, avec 3 autres affiliations.
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