Single-step holographic grayscale lithography of Fabry-Perot filter arrays
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Contrôle bibliographique ouvert
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- Titre Crossref
- Single-step holographic grayscale lithography of Fabry-Perot filter arrays
- Date Crossref
- 01/01/2026
- Éditeur
- Changchun Institute of Optics, Fine Mechanics and Physics, Chinese Academy of Sciences
- Type
- journal-article
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Sujets associés
Advanced Optical Imaging TechnologiesNanofabrication and Lithography TechniquesOptical Coatings and Gratings