Structural optimization of AlN thin films transducer for high-temperature ultrasonic sensing with high entropy oxide protection
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Le contrôle bibliographique ouvert
DOI retrouvé dans Crossref DOI retrouvé ; titre concordant.
- Titre Crossref
- Structural optimization of AlN thin films transducer for high-temperature ultrasonic sensing with high entropy oxide protection
- Date Crossref
- 01/05/2026
- Éditeur
- Elsevier BV
- Type
- journal-article
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Où se fait cette recherche
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Wuhan University Hubei Key Laboratory of Electronic Manufacturing and Packaging Integration pays non établi dans la noticeUniversité ou école supérieure
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Hubei University of Technology pays non établi dans la noticeUniversité ou école supérieure
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Wuhan University of Technology pays non établi dans la noticeUniversité ou école supérieure
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School of Power & Mechanical Engineering pays non établi dans la noticeUniversité ou école supérieure
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School of Mechanical Engineering pays non établi dans la noticeUniversité ou école supérieure
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School of Physics and Technology pays non établi dans la noticeUniversité ou école supérieure
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School of Integrated Circuits pays non établi dans la noticeUniversité ou école supérieure
Hubei Key Laboratory of Electronic Manufacturing and Packaging Integration — Wuhan University, Hubei University of Technology et Wuhan University of Technology, avec 4 autres affiliations.
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