Fabrication of high-quality large-scale ultrathin and narrow YBa2Cu3O7−δ superconducting meander wire array
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Le résumé fourni par la source
Large-scale quantum devices based on high-temperature superconductors and other sensitive materials are promising for next-generation quantum sensing and imaging, yet their practical realization is hindered by device non-uniformity, scalability, and degradation of materials properties during fabrication. Here we present a universal strategy for large-area high-temperature superconducting array with excellent uniformly. Using ultrathin YBa2Cu3O7−δ (YBCO) films and a high-precision SiNx stencil mask for fine electrodes definition, we preserve the intrinsic performance and large-area uniformity of YBCO prior to microwire patterning. Together with the low-damage film patterning process, we fabricate a 64 × 64 meandered wire array with a linewidth of 1 μm, edge roughness below 16 nm, and an effective sidewall-damage width of ∼50 nm. Comprehensive characterization of 121 devices reveals high uniformity, with a critical temperature of 75 K and 86.8% of units exhibiting a critical current within a narrow 2 ± 0.1 mA range. This scalable, low-damage approach not only overcomes the processing bottlenecks of YBCO but also provides a versatile platform applicable to a broad spectrum of fragile quantum materials, paving the way for next-generation superconducting electronics and imaging systems.
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Le contrôle bibliographique ouvert
DOI retrouvé dans Crossref DOI retrouvé ; titre concordant.
- Titre Crossref
- Fabrication of high-quality large-scale ultrathin and narrow YBa2Cu3O7−δ superconducting meander wire array
- Date Crossref
- 01/04/2026
- Éditeur
- AIP Publishing
- Type
- journal-article
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Où se fait cette recherche
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China Academy of Engineering Physics pays non établi dans la noticeStructure de recherche
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Henan Province Quality and Technical Supervision Bureau pays non établi dans la noticeInstitution
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National Engineering Research Center of Electromagnetic Radiation Control Materials pays non établi dans la noticeStructure de recherche
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Baoding University pays non établi dans la noticeUniversité ou école supérieure
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Hebei University pays non établi dans la noticeUniversité ou école supérieure
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College of Quality and Technical Supervision pays non établi dans la noticeUniversité ou école supérieure
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Microsystem and Terahertz Research Center pays non établi dans la noticeStructure de recherche
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University of Electronic Science and Technology of China 2 State Key Laboratory of Electronic Thin Films and Integrated Devices pays non établi dans la noticeUniversité ou école supérieure
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Institute of Electronic Engineering pays non établi dans la noticeStructure de recherche
China Academy of Engineering Physics, Henan Province Quality and Technical Supervision Bureau et National Engineering Research Center of Electromagnetic Radiation Control Materials, avec 6 autres affiliations.
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