2019 article

Grinding and chemical mechanics polishing process for micropore x-ray optics fabricated with deep reactive ion etching

碧都 福島, 麻衣子 藤谷, 久美 石川, 正樹 沼澤, 大貴 伊師, 亮太 大坪, 光 永利, 光 鈴木, 辰哉 湯浅, 隆哉 大橋, 和久 満田, 祐一郎 江副, Aoto Fukushima, Maiko Fujitani, Kumi Ishikawa, Masaki Numazawa, Daiki Ishi, Ryota Otsubo, Hikaru Nagatoshi, Hikaru SUZUKI, Tatsuya Yuasa, Takaya OHASHI, Kazuhisa MITSUDA, Yuichiro Ezoe

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