2026article

Defect-deflection-driven ductile machining beyond the BDT depth in hard–brittle materials: Insights from non-resonant oblique EVC of monocrystalline silicon

Mei Chi, Yuntuo Li, Jinguo Han, Zhenghao Wang, Ding Li, Shiquan Zhang, Shiyu Li, Xianfu Liu, Hao Yun, Yukang Zhao, Yanhou Liu, Guoyong Zhao

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Institutions

Shandong University of TechnologyWeihai Science and Technology Bureau

Sujets associés

Advanced Surface Polishing TechniquesOptical Coatings and GratingsAdvanced MEMS and NEMS Technologies
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