2025article

Structural accuracy control of ion beam angled etching of diamond in Ar/O2 gas mixture: Formation mechanism considering the lateral Erosion of aluminum mask

Yu Du, Xiaoyang Wen, Ziqi Xiao, Xianshan Dong, J.F. Xiao, Xuefang Wang, Jianfeng Xu, Lingqi Feng, Zhenyang Shi, Xiao Huang

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Huazhong University of Science and TechnologyMinistry of Industry and Information Technology

Sujets associés

Diamond and Carbon-based Materials ResearchAdvanced Surface Polishing TechniquesNanofabrication and Lithography Techniques
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