2025 conference-paper

Mapping of the Lattice Strain Tensor in Defect-Free Si1-xGex/SOI Multilayers Fabricated by Lateral-Selective Heteroepitaxy

Cedric Corley‐Wiciak, Chen-Hsun Lu, Agnieszka Anna Corley‐Wiciak, Edoardo Zatterin, Markus Andreas Schubert, Carsten Richter, Wei-Chen Wen, Marvin Hartwig Zoellner, Y. Yamamoto

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Titre Crossref: Mapping of the Lattice Strain Tensor in Defect-Free Si<sub>1-x</sub>Ge<sub>x</sub>/SOI Multilayers Fabricated by Lateral-Selective Heteroepitaxy
Date Crossref: 17/09/2025
Éditeur: The Japan Society of Applied Physics
Type: proceedings-article

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