Surface nanopatterning of Si by ion beam irradiation with sub-sputter-threshold energy
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Le contrôle bibliographique ouvert
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- Titre Crossref
- Surface nanopatterning of Si by ion beam irradiation with sub-sputter-threshold energy
- Date Crossref
- 07/10/2025
- Éditeur
- American Physical Society (APS)
- Type
- journal-article
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Les institutions déclarées
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