Compositional tuning of WC-reinforced AlN ceramics for enhanced plasma etch resistance
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Contrôle bibliographique ouvert
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- Titre Crossref
- Compositional tuning of WC-reinforced AlN ceramics for enhanced plasma etch resistance
- Date Crossref
- 01/11/2025
- Éditeur
- Elsevier BV
- Type
- journal-article
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Sujets associés
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