Yttrium-doped aluminum nitride ceramics for dielectric layers in Johnsen-Rahbek (J-R) type electrostatic chucks
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- Titre Crossref
- Yttrium-doped aluminum nitride ceramics for dielectric layers in Johnsen-Rahbek (J-R) type electrostatic chucks
- Date Crossref
- 01/11/2025
- Éditeur
- Elsevier BV
- Type
- journal-article
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Où se fait cette recherche
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Huazhong Agricultural University pays non établi dans la noticeUniversité ou école supérieure
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Huazhong University of Science and Technology pays non établi dans la noticeUniversité ou école supérieure
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School of Optical and Electronic Information pays non établi dans la noticeUniversité ou école supérieure
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School of Materials Science and Engineering State Key Laboratory of Material Processing and Die & Mould Technology pays non établi dans la noticeUniversité ou école supérieure
Huazhong Agricultural University, Huazhong University of Science and Technology et School of Optical and Electronic Information, avec 1 autre affiliation.
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