Realization of highly c-axis oriented AlN textured films on wafer-level polycrystalline Mo substrate via magnetron sputtering
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Le contrôle bibliographique ouvert
DOI retrouvé dans Crossref DOI retrouvé ; titre concordant.
- Titre Crossref
- Realization of highly c-axis oriented AlN textured films on wafer-level polycrystalline Mo substrate via magnetron sputtering
- Date Crossref
- 01/01/2025
- Éditeur
- Elsevier BV
- Type
- posted-content
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Les institutions déclarées
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Les sujets associés
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