Minimal Damage and Tunable Fabrication of Atomic‐Scale Ultrathin YBa2Cu3O7‐δ Nanowires with High Uniformity
Résumé fourni par la source
YBCO Nanowires High-quality YBCO nanowires have great potential in improving the performance of high-temperature superconducting nanowire single photon detectors. In article number 2400661, Yang Wang, Yuqing Liu, Peng Li, and co-workers propose a method for fabricating ultrathin and ultranarrow YBCO nanowires by using in situ protective layers and low-temperature inductively coupled plasma reactive ion etching, achieving tunability of nanowire size, as well as minimal damage (≈15 nm) and excellent uniformity.
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Contrôle bibliographique ouvert
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- Titre Crossref
- Minimal Damage and Tunable Fabrication of Atomic‐Scale Ultrathin YBa<sub>2</sub>Cu<sub>3</sub>O<sub>7‐δ</sub> Nanowires with High Uniformity
- Date Crossref
- 01/05/2025
- Éditeur
- Wiley
- Type
- journal-article
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