Single Crystal Diamond MEMS for Revealing the Desorption of Adsorbates on O-Terminated Diamond
Rattachement africain : jp, cn. Niveau de preuve : code pays fourni par la source.
Le résumé fourni par la source
Surface states of O-terminated diamond determine the electronic properties of devices. The in-situ realization of the surface properties in atomic scale relies on ultra-high vacuum and sophisticated techniques. Here, we propose the utilization of diamond microelectromechanical system (MEMS) to reveal the surface adsorption/desorption of oxygen (O)-terminated diamond. Our strategy is to measure the resonance frequency shift of diamond cantilevers by in-situ heating and cooling the cantilevers. Based on the frequency shift, the mass and thickness of the adsorption layer of O-terminated diamond was disclosed to be 0.0015 pg/μm2and ~0.4 nm, providing a new insight into semiconductor electronics.
Ce résumé expose les affirmations des auteurs. BNTIC ne l’interprète pas comme une validation indépendante des résultats.
Le contrôle bibliographique ouvert
DOI retrouvé dans Crossref DOI retrouvé ; titre concordant.
- Titre Crossref
- Single Crystal Diamond MEMS for Revealing the Desorption of Adsorbates on O-Terminated Diamond
- Date Crossref
- 19/01/2025
- Éditeur
- IEEE
- Type
- proceedings-article
Ce recoupement confirme des métadonnées liées au DOI. Il ne confirme ni la méthode ni les conclusions de l’étude, et il ne compte pas comme une seconde source scientifique indépendante.
Où se fait cette recherche
-
National Institute for Materials Science pays non établi dans la noticeStructure de recherche
-
Tohoku University pays non établi dans la noticeUniversité ou école supérieure
-
University of Chinese Academy of Sciences pays non établi dans la noticeUniversité ou école supérieure
-
Shanghai University pays non établi dans la noticeUniversité ou école supérieure
National Institute for Materials Science, Tohoku University et University of Chinese Academy of Sciences, avec 1 autre affiliation.
Une affiliation ne permet pas de déduire la nationalité d’un auteur.