Accès ouvert déclaré2025preprint

Pulse Time Effects on Al₂O₃/Zno Films Uniformity by Atomic Layer Deposition on Microchannel Plates

Zhipeng Xu, Guozheng Wang, Zhiyuan Liu, Ziheng Hao, Guanhua Gao, Jikai Yang

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Institutions

Changchun University of Science and Technology

Sujets associés

Semiconductor materials and devicesPhotocathodes and Microchannel PlatesGa2O3 and related materials
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