Trial of Reliable Surface Roughness Measurement with Atomic Force Microscope
Le résumé fourni par la source
Reliable method of surface roughness measurement with atomic force microscope is developing for industrial applications, such as nano-devices, precision optical devices. Variation of probe apex is one of the major problems for morphology measurement. To solve the problem, AFM image restoration with two or more probe is one of the possible solutions for accurate roughness measurement. This method is developing for international document standard.
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Le contrôle bibliographique ouvert
DOI retrouvé dans Crossref DOI retrouvé ; titre concordant.
- Titre Crossref
- Trial of Reliable Surface Roughness Measurement with Atomic Force Microscope 原子間力顕微鏡による信頼性の高い表面粗さ測定の試み
- Date Crossref
- 10/01/2025
- Éditeur
- Surface Science Society Japan
- Type
- journal-article
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