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SIMS analysis of an oxide thin film with continuous composition gradient

J. Scola, François Jomard, J. Wolfman, B. Négulescu, M.A. Pinault-Thaury

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Groupe d’Étude de la Matière CondenséeThion Medical (France)GREMAN, Matériaux, Microélectronique, Acoustique, Nanotechnologies

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Sujets associés

Ion-surface interactions and analysisDiamond and Carbon-based Materials ResearchMetal and Thin Film Mechanics
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