2024 conference-paper

Low-Thermal Budget Activation for 3D Integration by Green Nanosecond Laser

Hongxu Liao, Yandong Ge, Haixia Li, Lanyi Xie, Qing Wang, Ming Li, Ru Huang

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Titre Crossref
Low-Thermal Budget Activation for 3D Integration by Green Nanosecond Laser
Date Crossref
02/09/2024
Éditeur
The Japan Society of Applied Physics
Type
proceedings-article

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