Efficient Parameter Estimation Techniques for Nonlinear MEMS Resonators
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Le résumé fourni par la source
This paper highlights experimental results obtained during the CARAC-ATAC research project. The aim of the project was to investigate techniques for performing fast characterization of high-quality factor, low-frequency MEMS linear or nonlinear resonators, such as energy harvesters, resonant strain gauges, gyroscopes, etc. Here we focus on the use of ring-down and of fast frequency sweeps to estimate the parameters of resonators operating in the nonlinear regime. We show that either approach may generally provide equally-accurate and precise estimates of most of a nonlinear resonator's parameters, with trade-offs in terms of experimental complexity and number of estimated parameters. We also show that nonlinear ring-down fails at correctly estimating nonlinear damping parameters unless prior knowledge of the resonator's frequency is available.
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Le contrôle bibliographique ouvert
DOI retrouvé dans Crossref DOI retrouvé ; titre concordant.
- Titre Crossref
- Efficient Parameter Estimation Techniques for Nonlinear MEMS Resonators
- Date Crossref
- 25/06/2024
- Éditeur
- IEEE
- Type
- proceedings-article
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Où se fait cette recherche
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Laboratoire de Génie Électrique et Électronique de Paris pays non établi dans la noticeStructure de recherche
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CentraleSupélec pays non établi dans la noticeStructure de recherche
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Office National d'Études et de Recherches Aérospatiales pays non établi dans la noticeStructure de recherche
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McPhy Energy (France) pays non établi dans la noticeEntreprise
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Département Physique pays non établi dans la noticeStructure de recherche
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Centre National de la Recherche Scientifique pays non établi dans la noticeOrganisme public
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Université Paris-Saclay pays non établi dans la noticeUniversité ou école supérieure
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Centre de Nanosciences et de Nanotechnologies pays non établi dans la noticeStructure de recherche
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CNRS GeePs pays non établi dans la noticeStructure de recherche
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DPHY pays non établi dans la noticeInstitution
Laboratoire de Génie Électrique et Électronique de Paris, CentraleSupélec et Office National d'Études et de Recherches Aérospatiales, avec 7 autres affiliations.
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