2024 conference-paper

High-order resonance of single-crystal diamond MEMS with high-quality factor at high temperatures

Guo Chen, Zilong Zhang, Keyun Gu, Liwen Sang, Satoshi Koizumi, Masaya Toda, Yasuo Koide, Zhaohui Huang, Meiyong Liao

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Le résumé fourni par la source

MEMS resonators are typically engineered to function at their first vibration mode, and extensive research has been dedicated to understanding and optimizing this fundamental mode. However, despite the demonstrated effectiveness of operating at high modes for achieving high sensitivity in MEMS sensing applications, there is currently no reported research on higher-order modes at high temperatures. This paper reports an investigation on the resonance properties of higher-order vibration modes of single-crystal diamond (SCD) MEMS, specifically focusing on their performance at elevated temperatures up to 500°C. It is shown that the second mode of SCD cantilever exhibits a high-quality factor of 9,541 and high thermal stability of frequency less than 10 ppm/°C at 500°C.

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Le contrôle bibliographique ouvert

DOI retrouvé dans Crossref DOI retrouvé ; titre concordant.

Titre Crossref: High-order resonance of single-crystal diamond MEMS with high-quality factor at high temperatures
Date Crossref: 02/05/2024
Éditeur: IEEE
Type: proceedings-article

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Où se fait cette recherche

China University of Geosciences (Beijing) pays non établi dans la notice
Université ou école supérieure
National Institute for Materials Science pays non établi dans la notice
Structure de recherche
Tohoku University pays non établi dans la notice
Université ou école supérieure

China University of Geosciences (Beijing), National Institute for Materials Science et Tohoku University.

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