Diamond NEMS Resonators for Real-Time Dual Sensing of Magnetic Fields and Temperatures up to 500°C
Rattachement africain : jp. Niveau de preuve : code pays fourni par la source.
Le résumé fourni par la source
Real-time multifunctional sensing of magnetic fields and temperatures with preserved performances from room temperature to 500°C has posed a challenge for conventional sensing techniques. In this work, we demonstrate a smart multifunctional sensor based on single crystal diamond (SCD) MEMS resonators that can sense both magnetic fields and temperatures up to 500°C. Our strategy is to integrate a magnetostrictive thin film (Curie temperature >650°C) and a non-magnetic thin film on different SCD MEMS resonators on the same SCD chip for magnetic field sensing and temperature sensing, respectively. The multifunctional SCD MEMS sensor can achieve simultaneous sensing of temperatures and magnetic fields with high reliability up to 500°C, the best among all the semiconductors. The concept of SCD-MEMS based multifunctional sensors offers a promising solution for developing multifunctional sensors of magnetic sensing and temperature sensing under harsh environments.
Ce résumé expose les affirmations des auteurs. BNTIC ne l’interprète pas comme une validation indépendante des résultats.
Le contrôle bibliographique ouvert
DOI retrouvé dans Crossref DOI retrouvé ; titre concordant.
- Titre Crossref
- Diamond NEMS Resonators for Real-Time Dual Sensing of Magnetic Fields and Temperatures up to 500°C
- Date Crossref
- 02/05/2024
- Éditeur
- IEEE
- Type
- proceedings-article
Ce recoupement confirme des métadonnées liées au DOI. Il ne confirme ni la méthode ni les conclusions de l’étude, et il ne compte pas comme une seconde source scientifique indépendante.
Où se fait cette recherche
-
National Institute for Materials Science pays non établi dans la noticeStructure de recherche
National Institute for Materials Science.
Une affiliation ne permet pas de déduire la nationalité d’un auteur.