Evaluation of Optical Interferometry for Thickness Uniformity Control of Parylene HT Coating on Titanium Substrates
Rattachement africain : fr. Niveau de preuve : code pays fourni par la source.
Le résumé fourni par la source
This paper addresses the challenge of accurately measuring the thickness of parylene HT coatings using White Light Scanning Interferometry (WLSI), a non-destructive technique. Our results indicate a good correlation between WLSI and mechanical profilometry measurements confirming the reliability of WLSI for thickness control. Additionally, we propose a novel parylene HT etching process to compare to WLSI and mechanical profilometry measurments.
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Le contrôle bibliographique ouvert
DOI retrouvé dans Crossref DOI retrouvé ; titre concordant.
- Titre Crossref
- Evaluation of Optical Interferometry for Thickness Uniformity Control of Parylene HT Coating on Titanium Substrates
- Date Crossref
- 02/06/2024
- Éditeur
- IEEE
- Type
- proceedings-article
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Les institutions déclarées
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